制造厂商：Thermo Scientific™

型号：ESCALAB XI⁺

性能指标：

Ø 能量分辨率：相对于Ag 3d_5/2，半峰宽 ≤ 0.45  eV

Ø 灵敏度：在分辨率≤ 12 eV时，灵敏度 ³ 15000 cps/nA

Ø 元素检出限：atom 0.1%

Ø REELS和UPS

Ø 原位冷热台：77 ~ 1000 K

Ø 快速成像

Ø 离子和团簇刻蚀

功能及应用范围

Ø 表面纳米级厚度元素成分表征(元素：Li~U)；元素化学态信息

Ø 元素以及化学态的定量分析

Ø 元素/化学态在线或面的分布成像

Ø 不同成分的深度分布信息

Ø 广泛应用于环境、地质、特种金属、纳米器件、半导体、能源电池、功能涂料、生物医药、航空航天等领域

联系人：梁建军 博士   Email：liangjj@lzb.ac.cn

图. XPS光电子能谱分析仪